WF6, esas olarak elektronik endüstrisinde metal tungstenin kimyasal buhar biriktirme (CVD) işlemi için bir ham madde olarak kullanılır. WF6'dan üretilen WSi2, büyük ölçekli entegre devrelerde (LSI) bir kablolama malzemesi olarak kullanılabilir ve ayrıca yarı iletken elektrotlar, flor için bir ham madde olarak da kullanılabilir. Kimyasal maddeler, polimerizasyon katalizörleri, optik malzemeler vb. için ham maddeler.